진공 펌프를 구입할 때주의 사항

1. 진공 펌프에서 발생하는 진동이 공정 및 환경에 영향을 미치는지 여부는 분명해야합니다. 과정에서 허용되지 않는 경우 비 진동 펌프를 선택하거나 방진 조치를 취하십시오.

2. 펌핑되는 가스의 구성 요소를 이해합니다. 펌핑 된 가스에 응축 성 증기 또는 먼지 입자가 포함되어 있는지 여부. 가스 부식 여부. 진공 펌프를 선택할 때 가스 구성을 알아야하고 펌핑 된 가스에 따라 적절한 펌프를 선택해야합니다. 가스에 증기, 입자 및 부식성 가스가 포함 된 경우 응축기, 집진기 등과 같은 추가 장치를 펌프의 흡입구에 설치해야합니다.

3. 진공 펌프는 작동 압력 하에서 진공 장비 공정 중에 생성 된 모든 가스를 배출 할 수 있어야합니다.

4. 진공 펌프의 올바른 조합. 진공 펌프의 선택적 펌핑으로 인해 펌프가 때때로 펌핑 요구 사항을 충족시키지 못할 수 있습니다. 따라서 여러 유형의 펌프를 서로 지원하여 펌핑 요구 사항을 충족해야합니다.

예를 들어, 티타늄 승화 펌프는 수소의 펌핑 속도는 빠르지 만 헬륨을 펌핑 할 수는 없으며 3 극 스퍼터링 이온 펌프 (또는 양극 비대칭 캐소드 스퍼터링 이온 펌프)는 아르곤에 대해 일정한 펌핑 속도를 갖습니다. 이 두 개의 펌프를 결합하면 진공 장치의 진공도가 향상됩니다.

또한 일부 진공 펌프는 대기압 하에서는 작동하지 않으며 사전 진공이 필요합니다. 일부 진공 펌프는 대기압보다 출구 압력이 낮으므로 백킹 펌프가 필요하므로 모든 것을 결합해야합니다.

5. 오일 오염에 대한 진공 장비 요구 사항. 장비에 오일이 엄격하게 필요하지 않은 경우에는 워터 링 펌프, 분 자체 흡착 펌프, 스퍼터 이온 펌프, 극저온 펌프 등과 같은 다양한 오일 프리 펌프를 사용해야합니다. 엄격한 요구 사항이 아닌 경우에는 오일 펌프를 콜드 트랩, 배플 및 오일 트랩과 같은 일부 오일 오염 방지 조치 ...

6. 진공 펌프의 작동 지점을 올바르게 선택하십시오. 각 펌프는 작동 압력 범위를가집니다. 따라서 펌프의 작동 점은 펌프를 25 ~ 30mmHg에서 장기간 작동시키는 대신이 범위 내에서 선택해야합니다.

7. 진공 펌프에서 배출되는 유증기가 환경에 어떤 영향을 미치는지. 환경 오염을 허용하지 않는 경우 오일 프리 진공 펌프를 선택하거나 오일 증기를 실외로 배출 할 수 있습니다.

8. 진공 펌프의 작동 압력은 진공 장비의 최고 진공 및 작동 압력 요구 사항을 충족해야합니다.

9. 진공 펌프 가격, 운영 및 유지 보수 비용.