대상 필름의 조절 가능한 색상을 가진 PVD 코팅 방법
Apr 19, 2021| 대상 필름의 조절 가능한 색상을 가진 PVD 코팅 방법
1. 금속 필름도금, 금속 표적 재료가 장착 된 코팅 챔버로 도금되는 제품을 통과하고, 펌프 진공 및 가열 장치를 열어 베이스를 가열하여 배경의 진공이 1 10-3Pa 및 80-150에 도달 할 수 있도록 공정 온도 후 10-1000sccm의 아르곤 가스가 챔버에 주입되어 스푸터 파워가 시작됩니다. , 스퍼터링 전력은 1-15kW로 설정되고, 코팅 시간은 10-300s로 설정되고, 금속 막층은 1-100nm 두께를 획득하고, 금속 막층은 구리(Cu), 은(Ag), 알루미늄(Al), 크롬(Cr) 및 기타 금속 필름, 또는 니켈-구리(NiCu)이다. NiCr (NiCr) 합금 필름;2. 낮은 굴절률 필름을 도금. 완성된 금속필름은 낮은 굴절률 필름을 형성할 수 있는 표적 재료의 코팅 챔버로 이송되고 80-150까지 가열되며, 공정 가스가 챔버로 전달되고, 스퍼터링 전력은 1-300s로 설정되며, 코팅 시간은 1-300s로 설정되며, 10m두께의 두께를 가진 낮은 굴절률 필름이 10m의 두께를 가진 낮은 굴절률 필름을 획득한다. , 낮은 굴절률 필름 층은 실리콘 산화물 실리콘 질화물 필름 층과 같은;(3) 높은 굴절률 필름을 도금한다. 낮은 굴절률 필름의 도금 후, 제품은 높은 굴절률 필름을 형성할 수 있는 표적 재료의 코팅 챔버로 전송되고, 최대 80-150까지 가열되어 1-100nm두께의 고굴성 지수 필름 층을 얻을 수 있다. 높은 굴절률 필름 층은 티타늄 산화티타늄 티타늄 질라이드 지르코늄 저티라이드 지르코늄 질라이드 지크로늄 질라이드 닐로비드 니코비드 니코티산산화질소 산화 아연 산화 질소 산화 아연 인듐 알루미나 옥사이드 크롬 산화 크롬 산화질소이 높고 낮은 굴절 필름의 공정 가스가 적어도 하나의 Ar N2 O2, Ar 가스의 유량이 10-1000SCCM인 경우 N2 가스의 유량은 10-1000SCCM입니다. O2 가스의 유량은 10-1000SCCM.4입니다. 다른 색상의 필름 레이어를 얻기 위해 2 단계 와 3 단계를 여러 번 반복합니다. 2단계 반복 및 3 1-100회
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