저항 진공 게이지 (Pirani Vacuum Gauge)의 구조

Pirani 게이지라고도하는 저항 진공 게이지는 열 필라멘트 저항의 변화를 기반으로 압력 변화를 반영합니다. 주로 게이지 및 측정 회로로 구성됩니다. 측정 범위는 104-10-1Pa입니다.

저항계의 구조는 그림 1에 나와 있습니다. 고온 계수 저항 와이어로 감긴 원통형 나선 열선이 조절기 케이싱에 캡슐화됩니다. 핫 와이어의 양쪽 끝이 게이지 튜브 밖으로 나와 측정 선을 연결합니다. 게이지 셸은 금속 또는 유리로 만들 수 있습니다. 금속 쉘은 내구성, 핫 필라멘트의 편리한 제거 등의 이점을 갖는다. 단점은 밀봉 성능이 낮고 가격이 높다는 것이다. 유리 껍질은 우수한 씰링 성능과 저렴한 가격이라는 장점이 있으며 단점은 쉽게 손상된다는 것입니다.

발열선을 감은 일부 저항선의 저항 온도 계수와 저항률을 표 4-1에 나타내 었으며 그 중 텅스텐, 백금 및 니켈이 일반적으로 사용됩니다. 열선의 표면 안정성을 보장하기 위해 열선의 표면을 깨끗하게하는 것 외에도 때때로 열선의 표면에 산화, 오염을 피하기 위해 얇은 유리, 석영 또는 탄탈 층이 적용됩니다 고압에서 사용하는 경우에는 배선하십시오. 그러나이 방법은 열 관성을 증가시킬 것으로 믿어집니다.

금속 : 텅스텐 백금 니켈 크롬 이리듐 몰리브덴 철 동 은

저항 온도

0 ℃에서의 계수 4.82 3.9 6.0 2.5 4.1 4.71 6.0 4.3 4.29

(10 ^-3 / ℃ ^-1 )

0 ℃ 에서의 비저항 5.1 9.2-9.6 6.84 12.9 4.85 5.71 9.7 1.67 1.59

px10 ^-8 (Ω · m)

표 4-1 일부 금속의 저항 온도 계수 및 저항