마그네트론 스퍼터링 코팅의 불균형의 원인

진공 기계의 종류에 관계없이 코팅의 균일 성은 특정 요소의 영향을받습니다.

마그네트론 스퍼터링 진공 코팅기의 작동은 전자가 아르곤 가스에 의해 형성된 아르곤 이온에 충격을 가한 다음 진공 상태에서 직교 자기장에 의해 타겟에 충격을 가하고 타겟 이온이 워크 피스의 표면에 증착되도록하는 것이다 코팅을 형성한다. 따라서 우리는 진공 상태, 자기장 및 아르곤이 막 두께의 균일성에 관련된 세 가지 측면이라고 생각할 수 있습니다.

진공 상태는 공기 펌핑 시스템에 의해 제어됩니다. 펌핑의 균일 성이 보장 될 수 있도록 일관된 강도로 각 펌핑 포트가 동시에 작동되어야합니다. 펌핑이 균일하지 않으면, 압력이 이온의 운동에 영향을 미치기 때문에 진공 챔버의 압력은 균일하지 않을 수 있습니다. 또한 펌핑 시간을 제어해야합니다. 너무 짧으면 진공이 충분하지 않지만 너무 길면 자원 낭비가됩니다. 그러나 진공 게이지의 존재가 필요합니다.

자기장은 직각으로 작용하지만, 자기장 세기를 100 % 균일하게 만드는 것은 불가능합니다. 일반적으로 자기장이 강한 곳에서는 필름 두께가 크고 반대의 경우도 있으므로 필름 두께에 일관성이 없습니다.

아르곤 가스 공급의 균일 성은 필름 층의 균일성에 영향을 미친다. 원리는 진공도와 비슷합니다. 아르곤 가스의 유입으로 인해 진공 챔버의 압력이 그에 따라 변경됩니다. 균일 한 압력으로 막 두께의 균일 성을 제어 할 수 있습니다.

필름의 불균일성을 야기하는 요인은 여러 가지가 있지만 진공 코팅 기계의 올바른 작동이 이루어지면 필름의 합격률이 매우 높습니다.