코팅 장비의 진공 시스템에서 주 펌프의 구성

진공 시스템은 진공 코팅 장비에 없어서는 안될 부분입니다. 일반적으로 사용되는 고진공 시스템의 구조는 보통 주 펌프, 포어 펌프, 밸브, 파이프 및 진공 측정 장비의 조합입니다. 선택된 주 펌프에 따라 진공 시스템은 오일 진공 시스템 또는 오일 프리 진공 시스템 .

1. 오일 진공 시스템

오일 고진공 시스템의 주 펌프는 일반적으로 오일 확산 펌프입니다. 포어 펌프는 기계식 펌프 또는 기계식 펌프 + 루츠 펌프입니다.

오일 확산 펌프의 작동 압력 범위는 10 ^-1 ~ 10 ^-6 Pa입니다. 높은 펌핑 속도는 초당 수십 리터에서 초당 최대 천 리터까지 올 수 있습니다. 10 ^-2 ~ 10 ^-4 Pa의 범위에서 오일 확산 펌프는 기계적 전달, 마찰, 진동 또는 소음이없는 안정적인 펌핑 속도를 제공합니다. 또한 간단한 구조, 안정적인 성능, 긴 수명, 쉬운 유지 보수 및 낮은 투자 비용을 특징으로합니다. 주요 단점은 오일 증기가 진공 챔버로 역류하여 오염원이되기 쉽다는 것입니다. 오일 보충 캡, 배플, 콜드 트랩 및 기타 조치를 사용하여 오일 회수율을 줄일 수 있지만 제거 할 수는 없습니다. 오일 증기 역류의 일부가 여전히 있으며 펌프 펌핑 속도를 감소시킵니다. 또한, 오일 확산 펌프, 특히 대형 펌프는 에너지 소비가 높고 운영비 가 높으며 느린 시작과 긴 정지 시간, 특히 대형 펌프의 단점이 있습니다.

2. 오일 프리 진공 시스템

요즘, 오일 프리 진공 시스템 주 펌프는 분자 펌프 이며 극저온 펌프는 진공 코팅 장비에 널리 사용됩니다.

2.1 분자 펌프를 주 펌프로하는 진공 시스템의 특성

분자 펌프 는 기체 분자를 운반하는 고속 이동식 강체의 표면에 의해 펌핑되는 진공 펌프입니다. 깨끗하고 오일 프리 고진공 또는 초고 진공을 얻기 위해 다량의 가스를 지속적으로 펌핑 할 수 있습니다. 게다가 빠른 시작과 짧은 멈춤의 장점이 있습니다. 그러나 중질 가스의 펌핑 속도는 가벼운 가스보다 빠르며 증기의 펌핑 속도는 매우 느립니다. 터보 분자 펌프 는 분자 흐름 분야에서 높은 효율을 얻지 만 가스가 펌프를 통해 크게 흐르면 펌핑 속도가 감소합니다. 1Pa 이상의 압력 범위에서는 펌핑 속도가 매우 낮아 사용하기에 적합하지 않습니다. 그래서 나선형 그루브 트랙션 분자 펌프는 터보 분자 펌프의 고압 측에 장착되어 두 펌프의 펌핑 유닛을 일체형으로 만듭니다. 이것은 넓은 필드 형 복합 분자 펌프입니다. 이 화합물 분자 펌프의 펌핑 속도는 압력이 10Pa 이하일 때 일정하게 유지됩니다. 펌프 속도가 빠른 고압 범위는 터보 분자 펌프의 부족을 보완합니다.

2.2 저온 펌프를 주 펌프로하는 진공 시스템의 특성

극저온 펌프는 저온 표면을 사용하여 가스를 응축, 흡착 및 트랩 한 다음 진공을 얻고 유지하는 장치 인 가스 트랩 펌프입니다. 정상 작동 중에 포어 펌프가 필요하지 않습니다. 극저온 펌프 는 높은 초기 압력과 넓은 작동 압력 범위 (1 ~ 10 ^-8 Pa)를 가지고있어 모든 종류의 가스를 펌핑 할 수 있지만 연속 펌핑이 가능합니다. 동일한 구경의 다른 펌프와 비교하여 극저온 펌프는 특히 수증기에 대해 높은 펌핑 속도를 가지며, 이는 동일한 구경의 분자 펌프의 4 배에 해당합니다. 따라서, 펌핑 된 용기 내의 수증기의 분압은 낮아서 깨끗한 탄화수소가없는 고진공 및 초고 진공을 얻을 수있다. 움직이는 부품, 진동 또는 소음이 없으면 극저온 펌프를 어느 곳에 나 설치할 수 있습니다. 작은 풋 프린트와 쉬운 작동으로, 오일 확산 펌프보다 운전 비용이 적습니다.

그러므로, 진공 코팅 장비의 메인 펌프의 선택은 무엇보다도 청결, 진공 및 펌핑 시간의 요건에 따른다.

(1) 포어 펌프를 건식 펌프로 사용할 때 , 주 펌프로서 극저온 펌프, 유증기 또는 탄화수소 오염이없는 오일 프리 진공 시스템을 사용할 수 있습니다. 극저온 펌프는 높은 펌핑 속도로 인해 진공 코팅 장비에 널리 사용되며 특히 0.5 ~ 1.6m ^3의 장비에 적합합니다.

(2) 분자 펌프를 메인 펌프로 사용하는 경우에도 오일 프리 진공 시스템을 구현할 수 있습니다. 극저온 펌프와 비교하여 분자 펌프는 재생하지 않고 계속 펌프 할 수 있지만 수증기를 펌핑 할 수 없습니다. 오일 확산 펌프와 비교하여 분자 펌프의 시스템은 짧은 시작 및 정지 시간으로 깨끗하며 보조 시간을 절약하는 데 도움이됩니다. 그러나 분자 펌프는 고속 주행 장비이기 때문에 사양 개발이 제한적입니다. 따라서 분자 펌프는 연구 기관 및 Collegial Laboratory의 주 펌프로서 중소 코팅 설비에 적합합니다. 대용량 진공 코팅 장비의 경우 병렬로 펌핑하기 위해 여러 세트의 분자 펌프 시스템이 필요하므로 복잡한 구조가됩니다.

(3) 오일 확산 펌프는 저압 및 고속 유증기 흐름을 작동 유체로 사용하여 펌핑 된 가스를 증기 제트로 배출 한 다음 펌프 배출구로 운반하여 추출 공정에서 배제합니다. 오일 확산 펌프는 광범위한 펌핑 속도를 가지고 있습니다. 비효율적이지만 가격은 매우 낮기 때문에 오일 확산 펌프는 낮은 펌핑 속도를 요구하는 진공 코팅 장비에 널리 사용되고 있습니다.