스퍼터 링에 영향을 주는 주요 매개 변수
Jun 09, 2018| 1. 스퍼터 링 임계값
사건 이온 스퍼터 타겟 원자 밖으로 하는 데 필요한 최소 에너지 값은 입사 이온의 종류에 관련 아니라 대상에 관련 된. 스퍼터 링 임계값을 초과 하는 에너지 양을, 스퍼터 링 수율은 이온 에너지 증가 150 ev 전에 이온 에너지의 제곱에 비례 하 고 스퍼터 링 수율은 1 ~ 150 ev의 범위에서 이온 에너지에 비례 케빈. 1kev의 범위에서 ~ 10kev, 약간 변화를 양보는 스퍼터 링. 에너지는 다시 증가 했다, 스퍼터 링 수율 하향 추세를 보였다. 다음은 몇 가지 금속을 다른 사건 이온 포 격의 스퍼터 링 임계값입니다.
| 금속 | 이온 스퍼터 링 threshod/eV | 승화 열/eV | |||
| 네브라스카 | Ar | Kr | Xe | ||
| Ti | 22 | 20 | 17 | 18 | 4.40 |
| Cr | 22 | 22 | 18 | 20 | 5.28 |
| Fe | 22 | 20 | 25 | 23 | 4.12 |
| Cu | 17 | 17 | 16 | 15 | 3.53 |
| Zr | 23 | 22 | 18 | 25 | 6.14 |
| Ag | 12 | 15 | 15 | 17 | 3.35 |
| Au | 20 | 20 | 20 | 18 | 3.20 |
2. 스퍼터 링 수율
스퍼터 링 수율 사건 이온도 배는 대상 때 대상에서 방출 될 수 있는 긍정적인 이온 당 원자의 평균 수를 나타냅니다. 영향을 미치는 요소는 주로 다음과 같은 측면을 포함:
◆ 스퍼터 링 수율 대상의 원자 번호의 변경으로 특정 주기를 보여 줍니다. 작성 대상 원자의 d 껍질의 전자의 증가, 스퍼터 링 수율 증가 (대략 변화 추세).
◆ 입사 이온의 스퍼터 링에 효과 얻을
스퍼터 링 수율의 원자 번호 증가 함께 주기적으로 증가 합니다.
그에 해당 하는 다양 한 45Kev의 사건 이온 실버, 구리, 또는 탄탈의 양보는 스퍼터 링.
◆ 스퍼터 링, 이온 발생 각도의 효과 얻을
동일한 대상과 사건 이온, 스퍼터 링 수율 이온 증가의 사건 각으로 증가합니다. 각도 70 °에 증가 하는 경우 ~ 80 °, 스퍼터 링 수율 최대 규모 이다. 부각의 각 증가를 계속 하 고 스퍼터 링 수율은 급격히 감소 하 고, 스퍼터 링 수율은 900 °에서 0.
◆ 스퍼터 링에 목표 온도의 효과 얻을
일반적으로, 어디 스퍼터 링 수율 고려 될 수 있다 승화 에너지와 밀접 하 게 관련 된 온도 범위에서 스퍼터 링 수율은 거의 온도 변경 합니다. 온도가이 범위를 초과 하면 스퍼터 링 수율 급속 하 게 증가 하는 경향이 있다.
