증착 기술의 진보

증착 기술의 발전은 다음과 같이 요약할 수 있습니다.

(1) 장비 개발. 예를 들어, 대형 전자 빔 연속 증발 장비, 다양한 형태의 마그네트론 스퍼터링 장비, 새로운 아크 소스 이온 도금 및 HCD 및 다중 아크 복합 이온 도금 장비, 다양한 IBAD 장비 및 플라즈마 침지 이온 주입(PIⅢI) 장비 등.

(2) 프로세스 진행. 주로 필름 유형의 증가와 필름 특성의 개선에서 나타납니다. 예를 들어, 다양한 고성능 내마모성, 내부식성, 고온 내부식성, 열차단 필름, 다이아몬드형 및 입방정 질화붕소 필름, 다양한 세라믹, 구배 및 다층 복합 필름이 준비되었습니다. .

(3) 방법의 구성. 가장 진보된 기상 증착 기술은 단일 물리 기상 증착과 화학 기상 증착의 조합입니다. 그들은 다양한 새로운 열원을 사용할 뿐만 아니라 다양한 화학 반응, 고주파 전자기(펄스, 무선 주파수, 마이크로파 등) 및 플라즈마 효과를 최대한 활용하여 증착된 입자를 활성화합니다. 예를 들어 반응성 증착, 반응성 스퍼터링, 이온 빔 스퍼터링, 다양한 플라즈마 여기 화학 기상 증착 등 IBAD 및 PⅢ 장비에는 더 많은 복합 방법이 있습니다. 레이저 빔의 도입은 스팀 도금뿐만 아니라 다양한 방식으로 합성할 수 있습니다.

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