이온 펌프에 의한 활성 가스의 펌핑 속도

이온펌프에 의한 활성기체의 펌핑속도

수소, 산소, 질소, 일산화탄소, 이산화탄소 등과 같은 일부 가스는 화학적으로 더 활성이며 대부분의 금속과 쉽게 안정적인 화합물을 형성할 수 있습니다. 이온 펌프에서 이러한 활성 가스 분자는 음극의 이온 충격에 의해 스퍼터링된 새로운 티타늄(또는 탄탈륨)과 반응하여 질화티타늄, 산화티타늄과 같은 고체 화합물을 형성합니다. 반응). 스퍼터링되는 새로운 음극 물질과 반응하는 것 외에도 활성 가스는 음극 물질로 주입 및 확산되어 거기에 남아 있으므로 "펌핑"되는 효과를 얻습니다. 그러나 수소 외에도 대부분의 활성 가스는 음극 재료에 매우 깊게 주입되지 않으며 특정 양에 도달한 후 음극에 주입된 가스의 이러한 부분은 후속 이온 충격으로 방출됩니다. 포화 효과(이온 펌프 포화 펌핑 속도, 불포화 펌핑 속도 및 공칭 펌핑 속도 문서 참조). 낮은 압력에서는 공칭 펌핑 속도가 동일한 다이오드 펌프가 활성 가스에 대해 가장 높은 펌핑 속도를 가지며, 노블 다이오드가 그 뒤를 따르고, 더 높은 압력(5E-6mbar 이상)에서는 StarCell 이온 펌프가 가장 높은 펌핑 속도를 나타냅니다. 속도.

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