진공 시스템의 가스량에는 6가지 주요 소스가 있습니다.

진공 시스템에는 6가지 주요 가스량 소스가 있습니다.

● 시스템/챔버에 포함된 초기 가스;

● 펌핑 과정에서 생성되는 가스의 양.

● 가스 삽입(가스 양이 더욱 증가합니다);

● 역류/이동(콜드 트랩, 흡입 방지 밸브 등을 사용하여 줄일 수 있음);

● 탈기(이것은 가스량을 유발하는 주요 요인이지만 가장 해결하기 어려운 문제이기도 합니다).

● 누출.

마지막으로, 배기 문제에 있어서 흡수와 흡착이라는 두 가지 과정의 차이를 명확히 할 필요가 있습니다. 흡수는 한 물질이 일반적으로 다른 단계로 다른 물질의 내부로 들어가는 물리적 또는 화학적 과정입니다(이 경우 가스 분자는 공동 벽의 고체 물질 내부로 들어갑니다). 반면에 흡착은 다른 물질의 표면(이 경우 공동 벽)에 대한 기상 분자의 접착/근접성을 말합니다. 흡착된 분자는 단순히 "탈착"되어야 하는 반면, 흡수된 분자는 탈착되기 전에 먼저 "표면으로 확산"되어야 합니다.

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