진공 시스템의 일반적인 유형

특정한 요구 사항을 충족시키고 특정 요구 된 진공을 얻고 측정 할 수있는 시스템을 진공 시스템이라고합니다. 보다 완벽한 진공 시스템은 진공 챔버, 필요한 진공 펌프 또는 진공 장치, 진공 측정 장치, 연결 도관, 진공 밸브, 트랩 및 기타 진공 부품 및 전기 제어 시스템으로 구성됩니다. 일반적인 진공 시스템은 그림 1과 그림 2에 나와 있습니다.

1. 진공 챔버 블리드 밸브 2. 이온화 진공 게이지 3. 열전쌍 진공 게이지 4. 유량 조절 밸브

5. 고진공 밸브 6. 확산 펌프 7. 가스 저장 탱크

8. 열전대 게이지 (확산 펌프 전단 압력 측정) 9. 백킹 밸브 10. 압력 센서

11. 예비 펌핑 밸브 12. 루트 진공 펌프 13. 바이 패스 밸브 14. 전자기 블리드 밸브

15. 기계식 진공 펌프

그림 1 전형적인 진공 시스템의 개략도

1. 진공 챔버 2. 이온화 진공 게이지 3. 열전대 진공 게이지 4. 수축 밸브

5. 높은 진공 밸브 6. 콜드 트랩 7. 확산 펌프 8. 백킹 밸브 9. 전자기 블리드 밸브

10. 기계식 진공 펌프 11 프리 펌핑 밸브

그림 2 일반적인 진공 시스템의 개략도