진공 스퍼터링 코팅

진공 스퍼터링 코팅
수십 전자 볼트 이상의 운동 에너지를 가진 전하 입자가 물질의 표면에 충돌하여 원자가 기체 상태로 튀길 수 있을 만큼 충분히 높은 에너지를 얻습니다. 이 튀고 복잡한 입자 산란 과정을 스퍼터링이라고 합니다. 진공 스퍼터링 코팅은 스퍼터링 현상을 사용하여 다양한 필름을 생산합니다.
장점: 필름 두께 조절 및 반복성; 기판에 대한 강한 접착력; 필름 순도 고품질; 대상 물질과 다른 물질 필름을 준비할 수 있습니다.
단점: 증착코팅보다 필름형성속도가 느리다. 높은 기판 온도; 불순물 가스에 취약함; 장치의 구조가 복잡합니다.
현재 가장 일반적으로 사용되는 스퍼터링 코팅 기술은 마그네트론 스퍼터링 코팅 기술입니다. 이 기술은 가스와의 충돌 확률을 높이고 타겟의 스퍼터링 속도를 높이며 최종적으로 증착 속도를 높일 수 있습니다. 따라서 흡수, 투과, 반사, 굴절, 편광이 있는 기능성 필름, 장식 분야, 마이크로 전자 분야에 더 적합합니다.

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