호환 가능한 진공 게이지 및 컨트롤러 CDG045D 0.05 ~ 1000Torr / Mbar
소개 INFICON SKY CDG045D 압력계는 높은 정밀도의 총 압력 측정 및 제어를위한 최상의 선택입니다. CDG045D 게이지는 우수한 신호 안정성과 반복성을 위해 45 ° C에서 온도를 제어합니다. 그들은 50 mTorr에서 1000 Torr의 범위에서 사용할 수 있습니다.
- 제품 소개
소개
INFICON SKY CDG045D 압력계는 높은 정밀도의 총 압력 측정 및 제어를위한 최상의 선택입니다. CDG045D 게이지는 우수한 신호 안정성과 반복성을 위해 45 ° C에서 온도를 제어합니다. 50mTorr ~ 1000Torr 범위의 모든 범위에서 사용할 수 있으며 모든 공통 플랜지 유형 및 필드 버스 인터페이스가 있으며 선형 0-10V, 가스 유형 독립 압력 신호를 제공합니다. INFICON 커패시턴스 압력계는 부식 방지용 초 순수 알루미나 세라믹 다이어프램을 사용합니다. 세라믹 센서의 장점은 신호 안정성이 더 좋고, 대기로부터의 빠른 회복, 짧은 워밍업 시간 및 탁월한 수명입니다. INFICON CDG는 까다로운 진공 어플리케이션을위한 고품질의 비용 효율적인 압력 센서입니다.
INFICON SKY CDG045D 커패시턴스 다이어프램 게이지는 Oerlikon Leybold CTR 101 트랜스미터의 직접적인 대체품입니다. 모든 어플리케이션에 대한 글로벌 지원 및 솔루션을 통해 manufacterer에서 원본을 확보하십시오.
은혜
◆ CTR 101 송신기와 완벽하게 호환됩니다.
◆ 낮은 CoO (소유 비용), 50 % 빨라진 웜업, 에너지 효율적인 저전력 소비
◆ 간편한 통합, 다양한 범위의 풀 스케일, 플랜지 및 인터페이스, 두 세트 포인트
◆ 쉬운 푸시 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
◆ 신속한 서비스 및 유지 보수를위한 진단 포트
◆ 고급 난방 컨셉과 게이지 보호 기능으로 2 년 보증, 긴 수명
◆ 혹독한 플라즈마 어플리케이션에서도 탁월한 신호 안정성 및 반복성으로 장기간 재 보정이 필요 없음
◆ 준수 및 표준 : CE, EN, UL, SEMI, RoHS
전형적인 응용
◆ Etch, CVD, PVD 및 기타 반도체 생산 공정
◆ 화학 및 부식성 진공 공정
◆ 일반 박막 및 진공 공정
◆ 국제 표준에 따른 시험 장비 모니터링 용 기준 센서
트레이서 빌리티 측정을위한 전송 표준
사양
유형 | 1000 Torr, 1100 mbar | 500 ... 1 토르 / mbar | 0.5 ... 0.05 Torr / mbar | |
정확성 | 독서의 % | 0.15 | 0.15 | 0.15 |
온도 효과 | ||||
제로에 | 퍼센트 FS / ° C | 0.0025 | 0.0025 | 0.0025 |
스팬에 | 판독 값의 % / ° C | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
해결 | 퍼센트 FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
압력, 최대. | kPa (절대) | 400 | 260 | 130 |
가장 낮은 독서 | 퍼센트 FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
최저 제안 독서 | 퍼센트 FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
최저 제안 제어 압력 | 퍼센트 FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
온도 | ||||
작동 (주변) | 기음 | +10 ... +40 | +10 ... +40 | +10 ... +40 |
플랜지에서의 굽힘 | 기음 | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
저장 | 기음 | -20 ... +65 | -20 ... +65 | -20 ... +65 |
전원 전압 | +14 ... + 30VDC 또는 ± 15 V (± 5 %) | +14 ... + 30VDC 또는 ± 15 V (± 5 %) | +14 ... + 30VDC 또는 ± 15 V (± 5 %) | |
전력 소비 | ||||
가열하는 동안 | 승 | ≤12 | ≤12 | ≤12 |
작동 온도에서 | 승 | ≤8 | ≤8 | ≤8 |
출력 신호 (아날로그) | V (dc) | 0 ... +10 | 0 ... +10 | 0 ... +10 |
응답 시간 | ms | 30 | 30 | 130/30 |
보호 등급 | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
표준 | ||||
CE 적합성 | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 및 RoHS | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 및 RoHS | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 및 RoHS | |
ETL 인증 | UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 | |
SEMI 준수 | SEMI S2 | SEMI S2 | SEMI S2 | |
전기 연결 | D-sub, 15 극, 남성 | D-sub, 15 극, 남성 | D-sub, 15 극, 남성 | |
설정 점 | ||||
세트 포인트 수 | 2 (SP1, SP2) | 2 (SP1, SP2) | 2 (SP1, SP2) | |
릴레이 접점 | V (dc) | ≤30 | ≤30 | ≤30 |
히스테리시스 | 퍼센트 FS | 1 | 1 | 1 |
진단 포트 | ||||
실험 계획안 | RS232-C | RS232-C | RS232-C | |
독서 | 압력, 상태, 신분증 | 압력, 상태, 신분증 | 압력, 상태, 신분증 | |
세트 | 점 설정, 필터, 제로 조정, 공장 초기화, DC 오프셋 | 점 설정, 필터, 제로 조정, 공장 초기화, DC 오프셋 | 점 설정, 필터, 제로 조정, 공장 초기화, DC 오프셋 | |
노출 된 재료 진공 | 산화 알루미늄 세라믹 (Al2O3), 스테인레스 스틸 (AISI 316L) | 산화 알루미늄 세라믹 ( Al2O3 ), 스테인리스 강 (AISI 316L ) | 산화 알루미늄 세라믹 ( Al2O3 ), 스테인리스 강 (AISI 316L ) | |
내부 볼륨 | ||||
1/2 "튜브 | cm³ (in .³) | 4.2 (0.26) | ||
DN 16 ISO KF | cm³ (in .³) | 4.2 (0.26) | ||
DN 16 CF-R | cm³ (in .³) | 4.2 (0.26) | ||
8 VCR® | cm³ (in .³) | 4.2 (0.26) | ||
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