
- 제품 소개
장점의 파워 펄스 마 그 네트 론 스퍼터 링 기술(HIPIMS)
● 기존의 DC 마 그 네트 전류 전원 대상의 열 스트레스에 의해 제한 됩니다.
● 이온 collisional 에너지의 대부분은 대상의 열 에너지를 직접 변환할 수 있습니다.
● 펄스 마 그 네트 론 전원 소스 높은 펄스 전력 및 낮은 듀티 사이클을 보장합니다.
● 펄스 마 그 네트 론 전원 직접 DC 마 그 네트 론 스퍼터 링 전원 공급 장치를 교체할 수 있습니다.
높은 전력 비교 펄스 마 그 네트 론 방전을 스퍼터 링 및 DC 마 그 네트 론 방전 스퍼터 링
높은 기능 파워 펄스 마 그 네트 론 방전 스퍼터 링 | Dc 마 그 네트 론 방전 스퍼터 링의 특징 |
음극 방전 전압은 500 ~ 2000 V, 전류 밀도최대 3 ~ 4A/cm2. | 자기장 강도 0.01 ~ 0.05 T 동안 동작 전압은 300 ~ 700 V는 일반적인 DC 마 그 네트 론 스퍼터 링 압력에서 (1 ~ 10 mTorr). |
기판 표면 근처 전자 밀도: 1018~ 1019m-3 | 기판 표면 근처 전자 밀도: 1015~ 1016m-3 |
전력 밀도: 1 ~ 3kW/cm2 | 낮은 이온화 스퍼터 링 하는 동안 대상의 속도 (~ 1%). |
주파수: 100 ~ 1000 Hz | 대다수에는 불활성 가스 이온 |
듀티 사이클: 1% ~ 10% | 추가 보조 이온화 장비 (RF 전자 레인지)가 필요 합니다. |
높은 기능 파워 펄스 마 그 네트 론 스퍼터 링 전원 공급 장치
●는긍정적이 고 부정적인 전극방전은 전통적인 마 그 네트 론 스퍼터 링의 비정상 글로우 방전 영역에서 아크 방전 영역을 입력 그것을 피하기 위해 고속 스위치에 의해 제어 됩니다. 전류 밀도 최대 1018-1019 / m3, 전통적인 마 그 네트 론 스퍼터 링 보다 매우 높다. 그리고 매우 높은 이온화 율 80%-99%의 그것 쉽게 다양 한 강한 접착을 가진 고급 필름을 예금 할 수 있다.
● 고 출력 펄스 마 그 네트 론 스퍼터 링 파워 필름 일관성, 경도 면에서 더 우수한 영화 특성을 제공 합니다, 착용 저항 및 접착.
● 고 출력 펄스 마 그 네트 론 전원 고급-고주파 인버터 스위칭 전원 소스 기술 및 고성능 IGBT 파워 모듈 채택
● 전원 공급 장치과전류, 과전압 및 온도 보호 기능이 있다.
● 전원 공급 장치와 통신할 수 RS232, RS485, 와이파이 디지털 포트를 통해 호스트 컴퓨터에, 있는 제어 기능을 확장.
제품 사양:
제품 모델 | |
입력된 전원 및 주파수 (V/Hz) 3 상, 4 개의 와이어 | AC380 + N |
| 60 Hz | |
출력 전류범위 (A) | 0 ~ 500 |
전류의 일정 한 정 전류 정확도 | ≤1% |
정격된 출력 전압 (DCV) | 800 |
최대 평균 전력 (KW) | 40 |
피크 전력 (KW) | 400 |
듀티 사이클 (%) | <> |
무게 (KG) | 60 |
외부 차원 (MM) | 575(D)×480(W)×250(H) |
절연등급 | B |
생산성 (%) | 90 |
인클로저 보호 클래스 | Ip21 |
운영 모드 | 일정 한 전압, 일정 CurrentAnd 상수 전원 모드는 선택 사항. |
냉각 모드 | 수냉식 |
외부 인터페이스 | 이 시리즈 제품은 모든 터치 스크린 마이크로컨트롤러 채택 |
고 출력 전류 마 그 네트 론 스퍼터 링 파워 소스 EP50A80H 및 다른 제품 비교
고 출력 전류 마 그 네트 론 스퍼터 링 | |||
브랜드 | Hauzer | IKS | |
HIPIMS + | EP50A80H | ||
최대 평균 전력 | 20KW | 20KW | 40KW |
피크 전력 | 1MW ~ 8MW | 360KW | 400KW |
전압 | 1KV, 2KV | 800 | 800 |
전류 | 1KA, 2KA, 4가 | 600 | 500 |
아크 검출 | <> | <800ns ="" ="" ="" ="" ="" ="" ="">800ns> | <500ns ="" ="" ="" ="" ="" ="" ="">500ns> |
포장 (B * H * T) | 483 x 635 x 676 | null | 480 x 268 x 700 |
고 전력의 장점은 펄스 마 그 네트 론 스퍼터 링 파워 EP50A80H
●높은 신뢰성
EP50A80H 영화 일관성, 경도 면에서 더 우수한 영화 특성을 제공 합니다, 그리고 착용 저항 및 접착.
●우수한 아크 억제 기술
EP50A80H는 사용자가 편리 하 게 영화 더 나은 필름 구조를 표면 처리 하는 과정의 품질을 제어할 수 있도록 PHP 아크 억제 기술을, 채택 한다.
EP50A80H는 기존 마 그 네트 론 스퍼터 전원 직접 바꿀 수 있습니다. 대체 음극 재료와 자기장, 대신 사용자만 냉각 시스템을 교환 해야 한다.
●높은 파워 볼륨 비율
높은 전원 볼륨 비율 쉽게 통합 장비 설치의 사용자에 대 한.
응용 프로그램
높은 전력 MF 마 그 네트 론 스퍼터 링 전원 공급 장치는 플라즈마, 물리, 화학, 의료 및 다양 한 과학 연구 분야에서 널리 이용 된다, 그것은 다양 한 프로세스 요구 사항 특히 진공 코팅 장비를 만날 수 있다.
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