고 전력 펄스 마 그 네트 론 전원 공급 장치

고 전력 펄스 마 그 네트 론 전원 공급 장치

고 전력 펄스 마 그 네트 론 전원 공급 장점의 높은 전력 펄스 마 그 네트 론 스퍼터 링 기술 (HIPIMS) ● 기존의 DC 마 그 네트 전류 전원 대상의 열 스트레스에 의해 제한 됩니다. ● 대부분의 이온 collisional 에너지의 열 에너지를 직접 변환할 수는...

  • 제품 소개

장점의 파워 펄스 마 그 네트 론 스퍼터 링 기술(HIPIMS)

● 기존의 DC 마 그 네트 전류 전원 대상의 열 스트레스에 의해 제한 됩니다.

● 이온 collisional 에너지의 대부분은 대상의 열 에너지를 직접 변환할 수 있습니다.

● 펄스 마 그 네트 론 전원 소스 높은 펄스 전력 및 낮은 듀티 사이클을 보장합니다.

● 펄스 마 그 네트 론 전원 직접 DC 마 그 네트 론 스퍼터 링 전원 공급 장치를 교체할 수 있습니다.

 

높은 전력 비교 펄스 마 그 네트 론 방전을 스퍼터 링 및 DC 마 그 네트 론 방전 스퍼터 링

높은 기능 파워 펄스 마 그 네트 론 방전 스퍼터 링

Dc 마 그 네트 론 방전 스퍼터 링의 특징

음극 방전 전압은 500 ~ 2000 V,

전류 밀도최대 3 ~ 4A/cm2.

자기장 강도 0.01 ~ 0.05 T 동안 동작 전압은 300 ~ 700 V는 일반적인 DC 마 그 네트 론 스퍼터 링 압력에서 (1 ~ 10 mTorr).

기판 표면 근처 전자 밀도: 1018~ 1019m-3

기판 표면 근처 전자 밀도: 1015~ 1016m-3

전력 밀도: 1 ~ 3kW/cm2

낮은 이온화 스퍼터 링 하는 동안 대상의 속도 (~ 1%).

주파수: 100 ~ 1000 Hz

대다수에는 불활성 가스 이온

듀티 사이클: 1% ~ 10%

추가 보조 이온화 장비 (RF 전자 레인지)가 필요 합니다.

 

높은 기능 파워 펄스 마 그 네트 론 스퍼터 링 전원 공급 장치

●는긍정적이 고 부정적인 전극방전은 전통적인 마 그 네트 론 스퍼터 링의 비정상 글로우 방전 영역에서 아크 방전 영역을 입력 그것을 피하기 위해 고속 스위치에 의해 제어 됩니다. 전류 밀도 최대 1018-1019 / m3, 전통적인 마 그 네트 론 스퍼터 링 보다 매우 높다. 그리고 매우 높은 이온화 율 80%-99%의 그것 쉽게 다양 한 강한 접착을 가진 고급 필름을 예금 할 수 있다.

● 고 출력 펄스 마 그 네트 론 스퍼터 링 파워 필름 일관성, 경도 면에서 더 우수한 영화 특성을 제공 합니다, 착용 저항 및 접착.

● 높은 전류 전력 및 낮은 듀티 사이클, 고 출력 펄스 마 그 네트 론 스퍼터 링 전원 공급 장치 DC 마 그 네트 론 원래 마 그 네트 론 스퍼터 링 코팅 장비를 변경 하지 않고 직접 전원 스퍼터 링을 대체할 수 있다.

●는 PHP 아크 억제 기술에서는 사용자가 표면 처리의 과정에서 보다 편리 하 게 영화의 품질을 제어할 수 있습니다 확인 합니다. 전압 안정화 및 이상적인 쿠데타 드 foue의 기능, 전원 공급 장치 가공 표면에 아크를 효과적으로 억제 하 고 생산 수율, 도금 조각 표면 입도 및 필름 접착을 크게 향상 시킬 수 있습니다.

● 고 출력 펄스 마 그 네트 론 전원 고급-고주파 인버터 스위칭 전원 소스 기술 및 고성능 IGBT 파워 모듈 채택

● 터치 스크린 마이크로컨트롤러, 전원 공급 장치를 사용 하 여 매우 통합 하 고 강력한 쉬운 작업입니다. 전류 및 전압의 디스플레이 매우 명확 하 고 직관적입니다. 또한, 멀티 채널 고속 계산 및 고속 펄스 기능을 지원합니다.

● 전원 공급 장치과전류, 과전압 및 온도 보호 기능이 있다.

● 전원 공급 장치와 통신할 수 RS232, RS485, 와이파이 디지털 포트를 통해 호스트 컴퓨터에, 있는 제어 기능을 확장.


제품 사양:

제품 모델

EP50A80H

입력된 전원 및 주파수 (V/Hz) 3 상, 4 개의 와이어

AC380 + N

60 Hz

출력 전류범위 (A)

0 ~ 500

전류의 일정 한 정 전류 정확도

≤1%

정격된 출력 전압 (DCV)

800

최대 평균 전력 (KW)

40

피크 전력 (KW)

400

듀티 사이클 (%)

<>

무게 (KG)

60

외부 차원 (MM)

575(D)×480(W)×250(H)

절연등급

B

생산성 (%)

90

인클로저 보호 클래스

Ip21

운영 모드

일정 한 전압, 일정 CurrentAnd 상수 전원 모드는 선택 사항.

냉각 모드

수냉식

외부 인터페이스

이 시리즈 제품은 모든 터치 스크린 마이크로컨트롤러 채택


고 출력 전류 마 그 네트 론 스퍼터 링 파워 소스 EP50A80H 및 다른 제품 비교


고 출력 전류 마 그 네트 론 스퍼터 링

브랜드

Huttinger

Hauzer

IKS

모델

Truplasma Highpulse 4000

HIPIMS +

EP50A80H

최대 평균 전력

20KW

20KW

40KW

피크 전력

1MW ~ 8MW

360KW

400KW

전압

1KV, 2KV

800

800

전류

1KA, 2KA, 4가

600

500

아크 검출

<>

<800ns  =""  =""  =""  =""  =""  =""  ="">

<500ns  =""  =""  =""  =""  =""  =""  ="">

포장 (B * H * T)

483 x 635 x 676

null

480 x 268 x 700

 

고 전력의 장점은 펄스 마 그 네트 론 스퍼터 링 파워 EP50A80H

높은 신뢰성

EP50A80H 영화 일관성, 경도 면에서 더 우수한 영화 특성을 제공 합니다, 그리고 착용 저항 및 접착.

우수한 아크 억제 기술

EP50A80H는 사용자가 편리 하 게 영화 더 나은 필름 구조를 표면 처리 하는 과정의 품질을 제어할 수 있도록 PHP 아크 억제 기술을, 채택 한다.

좋은 호환성

EP50A80H는 기존 마 그 네트 론 스퍼터 전원 직접 바꿀 수 있습니다. 대체 음극 재료와 자기장, 대신 사용자만 냉각 시스템을 교환 해야 한다.

높은 파워 볼륨 비율

높은 전원 볼륨 비율 쉽게 통합 장비 설치의 사용자에 대 한.

 

응용 프로그램

높은 전력 MF 마 그 네트 론 스퍼터 링 전원 공급 장치는 플라즈마, 물리, 화학, 의료 및 다양 한 과학 연구 분야에서 널리 이용 된다, 그것은 다양 한 프로세스 요구 사항 특히 진공 코팅 장비를 만날 수 있다.


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