범용 질량 유량계 - MKS 1179C
1179C는 다양한 용도의 가스 흐름을 측정하고 제어하도록 설계된 범용 질량 유량 컨트롤러입니다. 1179 매스 플로우 컨트롤러는 10 sccm ~ 20 slm의 Full Scale 범위에서 사용 가능하며, 빠르고 낮은 반복 유량 제어를 제공합니다.
- 제품 소개
소개
1179C는 다양한 용도의 가스 흐름 을 측정하고 제어하도록 설계된 범용 질량 유량 컨트롤러입니다 . 1179 매스 플로우 컨트롤러는 10sccm ~ 20slm의 Full Scale 범위에서 사용할 수 있으며, 0.2sccm의 낮은 유량까지 빠르고 반복적 인 유량 제어가 가능합니다. 또한 적절한 압력 변환기에 연결될 때 압력 제어기로 사용될 수 있습니다.
1179C는 오늘날 시장 에 나와있는 가장 일반적인 MFC를위한 직접 형태 적합 기능 대체품입니다 . 표준 3 인치 풋 프린트는 기존 가스 라인을 수정하지 않고도 1179C를 동일한 공간에 직접 떨어 뜨릴 수 있습니다. 전기 커넥터는 동일한 "D"커넥터로, 업계 표준 커넥터와 동일한 핀 배열, 신호 및 기능을 갖추고 있으므로 케이블이나 커넥터 재배 선이 필요하지 않습니다. 1179C는 MKS 전원 공급 장치 및 MKS 또는 다른 제조업체의 디스플레이 전자 장치와 호환됩니다.
특징 및 장점
◆ 독창적 인 1 센서 설계로 뛰어난 제로 안정성 제공
◆ 정확하고 반복 가능한 유량 측정 및 제어를위한 Full Scale 유량 범위는 10 sccm ~ 20 slm입니다.
◆ 아날로그 구성에 대한 전체 스케일 정확도의 백분율
◆ 빠른 예열 시간으로 값 비싼 생산 중단 시간을 최소화합니다.
◆ 이전 MKS MFC 및 전원 공급 장치 / 판독 모듈과 호환 가능
◆ 엄격한 설계 및 테스트에는 MTBF 분석 및 STRIFE 테스트가 포함되어 장기적인 성능 보장
◆ 젖은 스테인레스 표면의 표면 처리, 클린 룸 처리 및 엘라스토머 씰 사용을 최소화하여 까다로운 세척 공정에서도 사용할 수 있습니다.
◆ 2 년 품질 보증 및 고객 만족 보장
구조
1179C 질량 플로 컨트롤러의 단면도
유량 정확도 및 반복성
위의 그래프는 1179C 제품군의 아날로그 MFC의 일반적인 유량 정확도와 반복성을 보여줍니다. 측정은 10 일 동안 MKS Instruments의 Califlow ® Primary Standard Flow Calibrator를 사용하여 수행되었습니다.
제로 안정성
위의 그래프는 1179 제품군에 사용 된 1179C 센서의 뛰어난 제로 및 스팬 안정성을 보여줍니다. 장비의 전원을 켜고 무작위로 19 개월 동안 제로 및 스팬 드리프트를 테스트했습니다.
사양
| 전체 범위 (N 2 상당) | 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm | |
| 최대 입구 압력 | 150 psig | |
정상 작동 압력 미분 (대기압 MFC 배출구의 압력) | 10 내지 5000 sccm | 10 ~ 40 psid |
| 10000 내지 30000 sccm | 15 ~ 40 psid | |
| 제어 범위 | 2 % ~ 100 % FS | |
정확도 (아날로그) (비선형 성, 히스테리시스 및 비 반복성 포함) 760 mmHg 및 0 ° C를 기준으로 함) | FS의 ± 1.0 % | |
| 반복성 | FS의 ± 0.2 % | |
| 해결 | FS의 0.1 % | |
| 온도 계수 | 제로 | <0.05 %="" fs="" °=""> |
| 스팬 | Rdg./OCC의 0.08 % 미만 | |
| 워밍업 시간 (정상 상태 성능의 FS의 0.2 % 이내) | 2 분 미만 | |
| 컨트롤러 안정화 시간 (SEMI 가이드 라인 E17-91) | <2> | |
| 압력 계수 | Rdg./psi의 0.02 % 미만 | |
| 정상 작동 온도 범위 | 0 ° C ~ 50 ° C | |
| 필요한 입력 전압 | 맥스. 시동시 전류 (처음 2 초) | 200 mA에서 ± 15 VDC (± 5 %) |
| 정상 상태에서의 전형적인 전류 | 100 mA에서 ± 15 VDC (± 5 %) | |
| 세트 포인트 명령 신호 | <20kω에서 0="" ~=""> | |
| 출력 신호 | 0 ~ 5 VDC> 10K Ω | |
| 출력 임피던스 | <1> | |
커넥터 유형 비슷한 물건 | 9 핀 또는 15 핀 유형 "D" (15 핀 Type "D"커넥터는 전기적으로 다른 MKS 흐름 컨트롤러 와 호환됩니다 . 자세한 내용은 응용 프로그램 엔지니어링 팀에 문의하십시오.) | |
| 유체 접촉부 | 표준 | 316L SS, Viton®, 니켈 |
| 선택적 (씰 및 밸브 시트) | Buna-N, Neoprene®, Kalrez® | |
| 누출 무결성 | 외부 (scc / 초 He) | <1 x="" 10=""> |
| 닫힌 밸브를 통해 | 대기 중 40 psig 입구에서 <1.0 %=""> 플로우 스루가 발생하지 않도록 별도의 포지티브 차단 밸브가 권장됩니다. | |
| 피팅 (호환 가능) | Swagelok ® 4 VCR ®, Swagelok ® 4 VCO ®, ¼ ''Swagelok | |
| 응낙 | CE | |
치수 도면
참고 : 달리 지정되지 않는 한 치수는 공칭 값 (인치) (mm 참조)입니다.
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