- 제품 소개
● 고출력 MF 마그네트론 스퍼터링 전원은 전력 요구 사항을 완벽하게 충족 시키므로 합리적이고 신속하게 소호 기능을 구현할 수 있습니다. 또한 전원 공급 장치는 저전압, 과전압, 과부하, 과열 등의 완벽한 디스플레이 및 보호 기능을 갖추고 있습니다. 또한 비전 도성 타겟을 스퍼터링하고 이온화 속도를 높여 대상 중독 및 비정상 방전을 효과적으로 극복 할 수 있습니다.
● 전원 공급 장치는 첨단 고주파 인버터 전원 공급 기술과 IGBT 전원 모듈을 사용하여 출력 에너지 저장 요소를 줄이므로 코팅 층이 매우 조밀하고 매끄 럽습니다.
● 터치 스크린 마이크로 컨트롤러를 사용하는 전원 공급 장치는 고도로 통합되고 강력한 조작이 가능합니다. 전류 및 전압 표시는 매우 명확하고 직관적입니다.
● PHP arc 억제 기술은 사용자가 표면 처리 과정에서 코팅층의 품질을보다 편리하게 제어 할 수 있도록합니다. 또한 전압 안정화 및 이상적인 쿠데타 제거 기능을 통해 전력 공급 장치는 작업 물 표면의 아크를 효과적으로 차단하고 생산 수율을 크게 향상시킬뿐만 아니라 도금 부품의 표면 정밀도 및 필름 접착력을 크게 향상시킵니다.
● 전원 공급 장치는 선택할 수있는 세 가지 모드 (정전압, 정전류 및 정전압)를 제공합니다. 전통적인 정전류 모드와 비교할 때, 정전 출력 모드는 코팅 공정의 반복성을 더 잘 보장 할 수 있습니다.
● 전원 공급 장치는 RS232, RS485, WIFI 등과 같은 디지털 포트를 통해 호스트 컴퓨터와 통신 할 수 있으며 제어 기능이 확장됩니다.
● 넓은 범위의 출력 및 주파수로 전원 공급 장치는 다양한 공정 응용 분야의 요구를 충족시킬 수 있습니다.
● 주요 파라미터는 넓은 범위 내에서 조정할 수 있습니다.
사양
제품 모델 | EP80A125H |
입력 전원 및 주파수 (V / Hz) Thre 위상 및 4 선 | AC380 + N |
| 60Hz | |
출력 전류 범위 (A) | 0 ~ 80 |
정전압 및 정전류에 대한 정확도 | ≤1 % |
정격 출력 전압 (DCV) | 1250 |
최대 출력 전력 (KW) | 100 |
듀티 사이클 (%) | 80 |
무게 (KG) | 80 |
외형 치수 (MM) | 575 (D) × 480 (W) × 250 (H) |
절연 그레이드 | 비 |
생산력(%) | 90 |
인클로저 보호 클래스 | Ip21 |
작동 모드 | 정전압, 정전류 및 정전력 모드는 선택 사항입니다. 일반적인 출력 : 정전류 |
냉각 모드 | 수냉 |
외부 인터페이스 | 이 시리즈 제품 모두 터치 스크린 마이크로 컨트롤러 채택 |
30kw MF 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치와 비교 한 성능 비교
제품 모드 | 중간 주파수 30kw | EP125A80H |
주파수 (KHZ) | 40 | 40 |
듀티 사이클 (%) | 80 | 80 |
전압 (V) | 800 | 800 |
전류 (A) | 38 세 | 125 |
최대 출력 (KW) | 30 | 100 |
고출력 마그네트론 스퍼터링 전원 EP125A80H의 장점
● 용광로의 높은 공간 활용
EP125A80H는 중간 주파수 목표를보다 적게 요구하며 퍼니스의 높은 활용도와 더 나은 생산 능력을 보장합니다.
● 우수한 아크 억제 기술
EP125A80H는 PHP 아크 억제 기술을 채택하여 사용자가 표면 처리 과정에서 필름의 품질을 편리하게 제어하여보다 나은 필름 구조를 얻을 수 있습니다.
● 좋은 호환성
사용자는 기존의 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치를 EP125A80H로 직접 교체 할 수 있으며 음극 재료와 자기장을 대체하는 대신 냉각 시스템을 교체하면됩니다.
● 높은 전원 대 볼륨 비율
높은 전원 대 볼륨 비율은 장비 설치를 사용자가 쉽게 통합 할 수있게합니다.
신청
고출력 MF 마그네트론 스퍼터링 전원은 플라즈마, 물리적, 화학적, 의학적 및 다양한 과학 연구 분야에서 널리 사용되며, 특히 진공 코팅 장비에서 광범위한 공정 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.
