터보 분자 진공 펌프

TYFB-3600 Turbo-Molecular Vacuum Pump 소개 터보 분자 펌프는 일종의 기계식 진공 펌프로서 다단계 다이나믹 및 스태틱 터보 베인의 고속 회전에 의해 가스 분자가 추출되어 여분의 고온을 발생시킵니다 진공 범위. 그만큼...

제품 소개

소개

터보 분자 펌프는 기계적 진공 펌프의 일종으로, 다단계 동적 및 정적 터보 베인의 상대적 고속 회전에 의해 가스 분자가 추출되어 여분의 고진공 범위가 생성됩니다. 터보 분자 펌프는 분자 유동 영역에서 높은 수준의 탈기 량과 높은 압축비를 특징으로하여 디퓨저 펌프보다 에너지 소비가 적으며 오일 증기 공해가 없습니다.

TYFB-3600 터보 분자 펌프는 현재 국내에서 최대 탈기 속도를 가진 펌프로 동적 베인의 가변 단면 형상이 고강도 및 저중량을 특징으로합니다. 따라서 펌프의 성능은보다 안정적이고 안정적입니다.

당사의 분자 펌프는 펌핑 된 가스에 대한 특별한 요구 사항이 없으며 메모리 추적도 없습니다. 고 분자량 가스에 대한 높은 압축비로 인해 펌프는 콜드 트랩 및 오일 배플을 설치하지 않고도 매우 깨끗한 고진공 및 고진공을 생성 할 수 있습니다.

TYFB-3600 터보 분자 펌프는 정밀 세라믹 베어링을 지지체로 사용하며 냉각 방식으로 수냉식을 사용하므로 냉각수 온도는 20 ℃ 미만이어야합니다. 펌프 작동은 로터의 동적 평형 후에 안정적입니다. 트라이 위상 마우스 케이지 형 모터는 펌프 드라이버로 사용됩니다. 원추형 구멍 축은 윤활제를 자동으로 흡수하여 베어링에 윤활을 적용합니다.이 방법은 매우 쉽고 신뢰성이 있습니다.

사양

고진공 플랜지		100 ISO-K
백킹 펌프 플랜지		400 ISO-K
펌핑 속도 L / S		3600
압축비	N2	> 109
	H2	> 6X103
최고 압력 (Pa)		<2 ×="">
회전 속도 (rpm)		12600
진동 값		≤0.15μm
베어링		세라믹 베어링
가동 시간 (분)		10
가동 중단 시간 (분)		20
(권장) 보조 펌프 (L / S)		30-70
냉각 모드		수냉
냉각수 온도 (℃)		<>
냉각수 유량 (L / min)		1
펌프 본체 베이킹 온도 (℃)		<>
주위 온도 (℃)		5-40
설치 위치		수직 ± 5 °
펌프 중량 (kg)		≈100