진공 측정의 특성

1. 압력 측정 범위 : 10 ⁵ ~ 10 ^-14 Pa.

2. 진공 게이지의 대부분은 간접 측정이며 단위 면적의 힘은 압력이 10 ⁵ ~ 10Pa 인 경우에만 직접 측정 할 수 있습니다. 그러나 대부분의 진공 측정 압력은 위에서 언급 한 것보다 작으며 직접 측정 할 수 없으며 간접 측정을 위해 저압 (예 : 열전도, 점도 및 이온화 등)에서 가스의 일부 특성을 사용해야합니다.

3. 비 전기 측정 기술이 채택되었습니다. 고감도의 비 전기 측정 기술, 빠른 응답, 자동 및 장거리 측정이이 방법을 사용하는 대부분의 진공 게이지에서 가능합니다. 전자 진공 게이지는 진공 게이지와 전자 측정 회로 (제어 및 표시 장치)의 두 부분으로 구성됩니다. 게이지는 민감한 요소입니다. 저압의 가스 특성을 이용하여 비 전기량의 가스 압력을 전기 신호로 변환 한 후 측정 회로로 게이지의 출력 전기 신호를 증폭하여 표시합니다. 필요한 경우 출력 신호가 자동 기록기 및 자동 제어 장치로 보내져 진공 장비의 자동화를 실현합니다. 비 전기 압력을 전기 요금으로 변환하기위한 요구 사항은 측정 회로의 컨트롤 유닛에 의해 제공됩니다.

4. 일부 진공 게이지의 판독 값은 가스의 유형 및 구성과 관련됩니다. 따라서 측정하는 동안 측정하는 동안 가스의 유형과 구성에 특별한주의를 기울여야합니다. 그렇지 않으면 큰 오류가 발생합니다.

5. 측정 정확도가 높지 않습니다. 압력의 간접 측정 과정에서 보조 에너지가 필요한 경우가 많습니다. 외부 에너지는 열 에너지, 전기 에너지, 기계 에너지 및 방사선 에너지 일 수있다. 이러한 방식으로, 측정 오차는 적용된 에너지가 도입 될 때 필연적으로 도입됩니다. 따라서 진공 측정기의 정밀도는 다른 물리적 측정기의 정밀도보다 낮습니다.