냉음극 이온화 진공 게이지

냉음극 이온화 진공 게이지

냉음극 이온화 게이지(종종 페닝 게이지라고도 함)는 열음극 이온화 게이지와 동일하며 역시 게이지와 측정선의 두 부분으로 구성되지만 열음극 대신 냉음극을 사용합니다. 이온화 게이지의 이온 소스로 사용됩니다. 냉음극 이온화 진공 게이지의 전자는 평행 또는 직교 전자기장의 작용 하에서 방전을 유지함으로써 작동합니다.

냉음극 이온화 진공 게이지의 측정 범위는 10-2~10-9mbar에 도달할 수 있습니다. 진공 게이지는 구조가 간단하고 서비스가 용이하며 판독값은 가스 유형에 따라 다르지만 보정 계수를 제공할 수 있습니다. 그러나 냉음극 이온화 진공계의 측정 불확도는 30%~50%이며, 10-2~10-5 범위에서 방전이 시작되는 경향이 있습니다.

IKS PVD 회사, 장식 코팅 기계, 도구 코팅 기계, DLC 코팅 기계, 광학 코팅 기계, PVD 진공 코팅 라인, 턴키 프로젝트가 가능합니다. 지금 문의하세요. 이메일: iks.pvd@foxmail.com