확산 펌프 개념 및 일반적인 유형

확산 펌프 개념 및 일반적인 유형

확산 펌프는 가스 분자를 배기 하단의 펌프로 분해하기 위해 목구멍에 고속 스팀 직접 분사 펌프를 사용합니다. 1915 년 볼프강 가이드 (Wolfgang gaid)가 주최하고 수은 증기를 사용하여 가스 분자를 이동시키는 고진공 자유 분자 흐름으로 기존 유체 역학보다 확산에 대해 더 잘 이해할 수 있으며, 정권은 일류 펌프를 운영합니다. Gad는 가스가 증기 흐름을 기반으로 확산 될 수는 없지만 배기 가스에 의해 그와 함께 수행 될 수 있다는 것을 발견했기 때문에 확산 펌프 설계라는 이름을 사용했습니다 . 그러나, 제트 펌프의 작동 원리는 확산이 중요한 역할을하는 다른 공기 및 다른 고진공 펌프에서보다 정확하게 공기에 의해 기술 될 수있다. 현대 교과서에서 확산 펌프는 운동량 전달 펌프로 분류됩니다. 확산 펌프는 산업 및 연구 분야에서 널리 사용됩니다. 대부분의 최신 확산 펌프가 작동 매체로 사용됩니다. Cecil lebocchi는 1928 년에 실리콘 오일을 사용할 가능성을 발견했습니다.

오일 확산 펌프

오일 확산 펌프는 증기압이 낮은 오일로 작동합니다. 포지티브 변위 펌프를 사용하여 가능한 것보다 더 높은 진공 (저압)을 달성하는 것이 목적입니다. 주로 고진공 범위 (10-9 mbar까지)와 관련이 있지만 오늘날의 확산 펌프는 최신 유체 및 액세서리와 함께 적절한 경우 10-10 mbar에 가까운 압력을 생성합니다. 확산 펌프를 높고 매우 높은 진공 상태로 만드는 것은 동일한 진공 범위에서 사용되는 다른 유형의 펌프보다 단위 비용 당 모든 가스 및 펌핑 속도가 빠르다는 점입니다. 확산 펌프는 대기로 직접 배출 될 수 없으므로, 프론트 스테이지 기계식 펌프는 일반적으로 약 0.1mbar의 출구 압력을 유지하는 데 사용됩니다.

6 인치 오일 확산 펌프 및 오일 확산 펌프의 작동 원리도

고속 제트는 끓는 액체를 생성하고 제트 증기를 통해 어셈블리를 안내합니다. 노즐 내부는 층류에서 초음속 및 분자로 변합니다. 펌핑 작업을 향상시키기 위해 전투기에서 주로 사용됩니다. 확산 펌프는 외부 냉각 또는 공기 흐름 또는 수관을 사용합니다. 확산 펌프 쉘 외부의 증기 분사 냉각의 영향으로 인해 작동 유체가 농축되어 회수되어 보일러로 다시 전달됩니다. 압축 보조 프론트 스테이지 기계식 펌프 및 배기 환경 압력이 수행되는 확산 펌프 출구를 통해 펌핑 가스가베이스의 압력이 증가 할 때 펌프로 계속 유입됩니다.

터보 분자 및 극저온 펌프와 달리 확산 펌프는 움직이는 부품이 없으므로 내구성이 뛰어나고 안정적입니다. 압력 하에서 10-10 ~ 10-2 밀리바 범위에서 작동 할 수 있습니다. 그들은 대류 만 구동 할 수 있으며, 이는 에너지에 매우 비효율적입니다.

확산 펌프의 주요 단점 중 하나는 역류 오일이 진공 챔버로 유입되는 경향입니다. 이 오일은 열선 또는 방전 접점으로 후면 챔버의 표면 또는 내부를 오염시켜 탄소와 실리콘이 침전 될 수 있습니다. 역류로 인해 오일 확산 펌프는 매우 민감한 분석 장비 또는 매우 깨끗한 진공 환경이 필요한 기타 응용 분야에 사용하기에 적합하지 않지만, 수은 확산 펌프는 수은 증착이 가능한 초고 진공 챔버에서 사용될 수 있습니다. 일반적으로 콜드 트랩 및 배플은 역류를 최소화하기 위해 사용되지만 경우에 따라 펌핑 용량이 손실됩니다.

오일 확산 펌프 작동에서 흔히 발생하는 실수는 뜨거운 오일 접촉 대기입니다. 이 경우 오일이 연소되고 교체됩니다. 대기와 접촉하기 전에 항상 시스템을 실온으로 냉각시켜야합니다.

확산 펌프의 주요 단점 중 하나는 역류 오일이 진공 챔버로 유입되는 경향입니다. 이 오일은 열선 또는 방전 접점으로 후면 챔버의 표면 또는 내부를 오염시켜 탄소와 실리콘이 침전 될 수 있습니다. 역류로 인해 오일 확산 펌프는 매우 민감한 분석 장비 또는 매우 깨끗한 진공 환경이 필요한 기타 응용 분야에 사용하기에 적합하지 않지만, 수은 확산 펌프는 수은 증착이 가능한 초고 진공 챔버에서 사용될 수 있습니다. 일반적으로 콜드 트랩 및 배플은 역류를 최소화하기 위해 사용되지만 경우에 따라 펌핑 용량이 손실됩니다.

오일 확산 펌프 작동에서 흔히 발생하는 실수는 뜨거운 오일 접촉 대기입니다. 이 경우 오일이 연소되고 교체됩니다. 대기와 접촉하기 전에 항상 시스템을 실온으로 냉각시켜야합니다.

증기 분사 펌프

증기 이젝터는 확산 진공 증류 및 냉동 펌프의 일반적인 건조입니다. 스팀 제트 펌프는 스팀 진공 챔버에서 제거되어야합니다. 스팀 이젝터에는 하나 이상의 스테이지가있을 수 있으며 스테이지 사이에 응축기 인치가 없습니다.

압축 공기 분사 펌프

그 중에서도 확산 진공 펌프는 다단 압축 구동 제트 공기입니다. 이것은 물체가 진공관과 진공 흡입 라인으로 이동하는 응용 분야에서 매우 인기가 있습니다.

IKS PVD, 중국의 진공 코팅기 제조업체, 지금 연락하십시오, iks.pvd@foxmail.com